原理是在真空状态下使电极之间形成高频交变电场,区域内气体在交变电场的激荡下,形成等离子体,活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用,使被轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子,和气态物质,经过抽真空排出,而...
微波等离子去胶机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中...
光学接触角测量仪整机由精密光学机械结构、光学成像系统、精密滴定系统以及专业级的界面化学分析软件CAST2.0组成,可用于测试动态和静态接触角值、固体表面自由能及其分布(色散力、极性力、氢键力)、液-气和液-液界面张力值(pendantdro...
的应用,起源于20世纪初,随着高科技产业的快速发展,其应用越来越广,目前已在众多高科技领域中,居于关键技术的地位,等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响zui大,*电子资讯产业,尤其是半导体业与光电产业。 优势:一、清...
是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚...
天津大学HarrickPlasmaCleaner 顺利安装成功感谢天津大学机械工程学院、精仪学院对德国韦氏纳米系统的支持厚爱,希望我司能为贵校提供更好的服务,!希望GermanFirstNanoSystem中国区事业部在2017年...
Harrick 的应用,起源于20世纪初,随着高科技产业的快速发展,其应用越来越广,目前已在众多高科技领域中,居于关键技术的地位,等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响zui大,*电子资讯产业,尤其是半导体业与光电产业。Harri...
基本型 两个电极形成电磁场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长,受磁场作用,发生碰撞而形成等离子体,同时会发生辉光,等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,达到去除表...
匀胶旋涂仪的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。从其原理来说,我们可以看出选购匀胶...
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