, 真空泵采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子表面处理机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被*地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。

PIE 代表 Plasma ，Ion ，Electron PIE 专业致力于等离子刻蚀，清洗，表面处理和离子，电子束产品的应用。 PIE INC 成立于等离子研究小组在劳伦斯伯克利国家实验室。经过15年在硅谷研究经验，我们的SmartClean™ 先进的技术已经被世界上著名大学，研究所，实验室使用

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