椭偏仪是一种利用偏振态的变化 后光束探测样品反应技术。不像反射仪，参数（PSI和Del）是在非正常的入射角得到。改变入射角。可以得到更多的数据集，这将有助于精炼模型，减少不确定性和提高用户的数据信心。因此，可变角度比固定角度的系统具有更强大的功能 。目前有两种方法改变入射角，手动或自动模式。