液相扩散技术（LDT）提供了各种 基材和表面材料的干燥性能性能增强。这种专有的干燥工艺及其它的系统控制生成超纯IPA气雾剂层，在静止的基板移动扩散去除水分，不留水印。Megasonic IPA dryer具有强大的工艺灵活性，可用于干燥高纵横比/深沟槽地形、半间距晶片间距，以及其他多种应用。

SWC-3000兆声晶圆清洗机 兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及先进的兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。

兆声晶圆清洗机： First-Nano 兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及先进的兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。