NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机
简要描述:NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机:NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。
产品型号:
所属分类:离子束刻蚀溅射镀膜一体机
更新时间:2017-03-03
厂商性质:生产厂家
详情介绍
光学元件原子级清洗镀膜系统
NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机概述:NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。
NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机应用
- Optical Coatings光学涂层
- Sputtering溅射
- IBAD IBAD离子束辅助沉积
- Ion Beam Etching Cleaning离子束刻蚀清洗
- Ion Beam Assisted Reactive Etching离子束辅助反应刻蚀
- Infrared Coatings红外涂层
- Surface Treatment表面处理
产品特点:
- RF Biasable Platen RF射频偏压样品台
- Thickness Monitor膜厚监测仪
- 5x10-7 Torr Base Pressure极限真空5x10-7Torr
- High Accuracy and Repeatability高精度及高重复性
- High Quality Films高品质膜层
- Atomic Level Clean Surfaces原子级的洁净表面
- Atomic Cleaning and Polishing原子级清洗和抛光
- PC Controlled with LabVIEW通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
- Automatic Load/Unload自动上下载片
- Automatic Transfer Between Chambers两个腔体之间自动传送
- Recipe Driven, Password Protected菜单驱动,4级密码访问保护
- Safety Interlocks完整的安全联锁
- 46”D x 44”W Footprint占地面积46”D x 44”W
选配项:
- Sputter Down/Up向下/向上溅射
- Co-Sputtering共溅射
- DC, RF and Pulsed Power Supplies DC,RF以及脉冲电源
- Ion Beam Assisted Deposition离子束辅助沉积
- E-Beam Sources电子束源
- Plasma Sources等离子源