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蚀刻残留物去除剂

简要描述:杜邦蚀刻残留物去除液

产品型号: EFC270

所属分类:EKC270蚀刻残留物去除剂

更新时间:2019-01-17

厂商性质:生产厂家

详情介绍

杜邦™plasmasolv®ekc265™蚀刻后残留物去除

特点:

制定zui jia的金属堆栈完整性

“改进”宽窗口处理能力

强化蚀刻残余物去除

清洗的掩膜减少化学残留

超大规模集成电路(ULSI)级规格先进封装清洗

工作温度下蒸发速率低

应用:

应用EKC265™蚀刻后残留物器广泛应用在半导体行业,以满足关键的清洁需求

从高深宽比MEMS器件100μm+到先进DRAM 的70nm集成的各个阶段

下面列出了常见的应用程序:

  • 接触清洁

  • 金属线清洁

  • TSV深硅穿孔清洁

  • 钨埋位线清洗

  • 聚酰亚胺清洗

  • Pad清洁

  • MEMS清洗



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